Alcatel Adixen AD100K højstøvsuger

Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h.

Adixen AD30K tørpumpe, højvakuum
De nye, højtydende tørkørende pumper:
ADH-serien er specielt designet til solenergi og udviklet til de krævende processer i halvleder- og LED-industrien, med en pumpekapacitet på 600-4500 m3/t.

Halvleder: Høj H2-pumpehastighed
Ydelsen af ADH-serien giver følgende fordele i processen:
- ADL-procesydelse: Høj pumpningseffektivitet af lette gasser muliggør hurtigere kammerudluftning mellem procestrin
- Epitaksi og EUV: Høj pumpekapacitet og høj gennemstrømningsrate opfylder selv de mest krævende processpecifikationer

Adixen AD30K tørpumpe, højvakuum, AD 30 KL
Fabrikant: Alcatel Adixen
Type: AD30K.H
Byggeår: 2008

Adixen AD100K.H
Fabrikant: Alcatel Adixen
Type: AD100K.H
Byggeår: 2008

Vakuumpumpe:
Fabrikant: AERZEN
Type: GM 2000 CM-C
Omdrejningstal: 6.000 o/min
Spænding: 200-460 V
Frekvens (mineralolie/PFPE-olie): 100 Hz
Maks. pumpekapacitet: 4.035 m3/t
Dcsdpfx Aasikq Tyoaon
Maks. omdrejningstal: 5.920 o/min
Motoreffekt S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Byggeår: 2008
Vægt: 345 kg

Tørpumpe:
Fabrikant: Adixen
Type: BF ADP122
Byggeår: 2008
Effekt: 1,5 kW
Maks. pumpekapacitet: 95 m3/t
Maks. kontinuerligt indløbstryk: 50 mbar
Maks. udstødningsovertryk: 1200 mbar
Kølevand: 60 l/t
Omdrejningstal (pumpe): 3.000-3.600 o/min
Driftstemperatur (pumpe): 5 °C til 40 °C
Indgangsflange: DN 50 ISO-KF
Udstødningsflange: DN 40

Annoncen blev oversat automatisk, og der kan forekomme nogle oversættelsesfejl.