Sputteranlæg

Aurion B-VPA-28

Sputteranlæg – Aurion Anlægsteknik

Producent: Aurion Anlægsteknik
Anlægstype: B-VPA-28
Serienummer: 302343

Tekniske data og udstyr

Sputteranlægget har en egenvægt på ca. 7.000 kg og dimensioner på 6.217 × 3.500 × 2.100 mm (B × D × H), uden vakuumpumper. Kammerens volumen er ca. 670 liter. Den maksimale omgivelsestemperatur er 25 °C.

Den elektriske tilslutning sker med 400/230 V ved 50 Hz. Den tilsluttede effekt er ca. 100 kVA ved et strømforbrug på ca. 125 A.

Substrat- og varmesystem

Substratdimensioner: 38 × 31 × 1,08 mm

Transportpaller: 416,9 × 504,5 mm

Kapacitet: 144 substrater pr. transportpalle

Substratopvarmning op til maksimalt 250 °C

Vakuum- og procesgassystem

Opnåeligt sluttryk: < 1 × 10⁻⁷ hPa

Procesgas: Argon

2 flowregulatorer Bronkhorst F-201CS, hver med 500 mln/min

Belægningssystem

2 DC-generatorer ADL GX 150/800, hver med 15 kW

Vakuumkomponenter (Pfeiffer Vacuum)

4 × forvakuumpumpe DUO 35

2 × forvakuumpumpe DUO 65

2 × roterende skruepumpe Okta 500

3 × turbopumpe HiPace 1200 U

Cjdpfx Abj Ah Tlgeyohd
1 × turbopumpe HiPace 2300 U

Ventilteknologi fra virksomheden VAT

Styrings- og automatiseringssystem

Anlægsstyringen er baseret på en Siemens SIMATIC S7-styring og omfatter en panel-PC med WinCC til betjening og procesvisualisering.

Annoncen er blevet oversat automatisk. Oversættelsesfejl kan forekomme.